玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人
可應(yīng)用于第7代至第9代的大型玻璃基板搬運(yùn)的機(jī)器人。
潔凈度為FED10級標(biāo)準(zhǔn)。采用獨(dú)有的連桿結(jié)構(gòu)，降低了彎曲和振動，并保證了剛度。
產(chǎn)品詳情
●應(yīng)用于第7代～第9代基板的系列產(chǎn)品
適用于包括第7代的SJ80C，以及第8，9代的SJ120C
●級別上限的旋轉(zhuǎn)速度和前后軸速度
在所有尺寸中均縮短了周期
●上下軸采用獨(dú)有的連桿結(jié)構(gòu)
能夠抑制彎曲和振動的高剛度結(jié)構(gòu)
無帶式結(jié)構(gòu)，確保高可靠性和安全性
●活動部分的布線全部內(nèi)置于手臂內(nèi)
防止發(fā)生微米級塵埃，并使外觀保持整潔
工作范圍
用途
玻璃基板搬運(yùn)
(*1) 本產(chǎn)品的額定功率，規(guī)格，外部尺寸等如需改良而變更，恕不另行通告。
(*2) 如果本產(chǎn)品的最后使用者與軍事相關(guān)，或用于兵器等的制造，可能成為“外匯及國際貿(mào)易法”規(guī)定的出口限制的對象。出口時，請進(jìn)行充分的審查和辦理所需的出口手續(xù)。
技術(shù)參數(shù)：
| 系列 | SJ80C | |||
|---|---|---|---|---|
| 機(jī)器人型號 | SJ80C-18D-01 | SJ80C-24D-01 | ||
| 清潔度 | 10級（0.3μm）*1 | |||
| 自由度 | 4 | |||
| 驅(qū)動方式 | AC伺服方式 | |||
| 上 限 工 作 范 圍 | X1 | 前后1 | 3,670mm | |
| X2 | 前后2 | 3,670mm | ||
| θ | 轉(zhuǎn)動 | +2.53～3.40rad (＋145°～－195°) | ||
| Z | 上 下 | 1,800mm | 2,400mm | |
| 上 限 速 度 | X1 | 前后1 | 3,000mm/sec | |
| X2 | 前后2 | 3,000mm/sec | ||
| θ | 轉(zhuǎn)動 | 3.14rad/sec (180°/sec) | ||
| Z | 上 下 | 1,100mm/sec | 1,450mm/sec | |
| 搬運(yùn)重量 | 每個臂80kg(合計135kg) | |||
| 位置反復(fù)精度 | ±.3mm | |||
| 周圍溫度 | 0～35°C | |||
| 設(shè)置條件 | 落地式 | |||
| 主機(jī)重量 | 1,175kg | 1,200kg | ||
＊1 指機(jī)器人頂端法蘭表面
1rad=57.3° 1N=0.102kgf
| 系列 | SJ120C | |||
|---|---|---|---|---|
| 機(jī)器人型號 | SJ120C-28D-01 | SJ120C-28S-01 | ||
| 清潔度 | 10級（0.3μm）*2 | |||
| 自由度 | 4 | 3 | ||
| 驅(qū)動方式 | AC伺服方式 | |||
| 上 限 工 作 范 圍 | X1 | 前后1 | 4,480mm (+2,250～-2,230mm) | |
| X2 | 前后2 | 4,480mm (+2,250～-2,230mm) | - | |
| θ | 轉(zhuǎn)動 | ＋3.40～－2.53rad (＋195°～－145°) | ||
| Z | 上 下 | 2,800mm | ||
| 上 限 速 度 | X1 | 前后1 | 3,600mm/sec | |
| X2 | 前后2 | 3,600mm/sec | - | |
| θ | 轉(zhuǎn)動 | 3.14rad/sec (180°/sec) | ||
| Z | 上 下 | 1,050mm/sec | ||
| 可 搬 重 量 | X1 | 前后1 | 上限90kg | 上限120kg |
| X2 | 前后2 | 上限120kg | - | |
| 允 許 力 矩 | X1 | 前后1 | 720N?m | 780N?m |
| X2 | 前后2 | 780N?m | - | |
| 允 許 慣 性 力 矩 | X1 | 前后1 | 135kg?m2 | 165kg?m2 |
| X2 | 前后2 | 165kg?m2 | - | |
| 位置反復(fù)精度 | ±.3mm | ±.3mm | ||
| 周圍溫度 | 0～35°C | |||
| 設(shè)置條件 | 落地式 | |||
| 主機(jī)重量 | 1,880kg | 1,680kg | ||
＊2 指機(jī)器人頂端法蘭表面
1rad=57.3° 1N=0.102kgf
注：圖文數(shù)據(jù)均以廠家提供為準(zhǔn)。
